Fabrication de Panneaux Solaires
Les filtres GasPro™ haute pureté de Porvair Filtration Group sont utilisés pour les systèmes critiques de distribution et d'alimentation de gaz du procédé de dépôt de film mince utilisé pour fabriquer les dispositifs photovoltaïques. Nos filtres GasPro™ pour l'industrie des panneaux solaires sont offerts en PTFE (Teflon™), Polypropylène, 316L Sinterflo® F en fibre de métal frittée, 316L Sinterflo® P en poudre métallique frittée, en fibre de nickel, en poudre frittée de nickel et d'acier Hastelloy® C22.
Applications
- Gaz de procédé utilisé dans les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) pour la fabrication de panneaux de cellules solaires
- Gaz dopants utilisés pour le dépôt sur disques compacts, lecteurs de disques et dispositifs optiques et gaz utilisés dans le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) modifié pour la fabrication de fibres optiques
- Traitement des gaz pour la fabrication du verre antérieur utilisée pour les cellules photoélectriques et les panneaux solaires.
Caractéristiques et avantages
- Permets d'accroître les rendements et l'efficacité du procédé de dépôt de film mince
- Protection des équipements du processus comme les pompes à vide des équipements de traitement des gaz de procédé PECVD
- Enlèvement des particules - élimination des particules toxiques et abrasives des gaz d'échappement
- Filtration à haut rendement des gaz - filtration à haut rendement des gaz en vrac, des gaz spécialisés et des gaz générés sur place ; N2, H2, Ar, F2, NF3, He et Silane
- Filtres de dernière chance - filtres POU pour la dernière chance de suppression des particules
- Propreté maximum - lavage à l'eau désionisée et rinçage à l'azote haute pression pour maximiser la propreté du produit fini
- Environnement d'application et d'utilisation - les filtres avec des spécifications de surface mouillées moins rigoureuses et avec des grades de filtration plus élevés sont disponibles pour d'autres applications et environnements opérationnels.