Microelectrónica

World Class Filtration Solutions

Fabricación de Paneles de Energía Solar

Los filtros de alta pureza GasPro™ de Porvair han sido seleccionados para sistemas vitales de distribución de gas, que forman parte del proceso de deposición de películas finas utilizado para la creación de dispositivos fotovoltaicos. Nuestros filtros GasPro™ para la industria de placas de energía solar están disponibles en membrana de PTFE (Teflon™), polipropileno, fibra de metal sinterizado 316L Sinterflo® F, polvo de metal sinterizado 316L Sinterflo® P, fibra de níquel, polvo sinterizado de níquel y polvo sinterizado Hastelloy® C22.

Aplicaciones

  • Gases de proceso utilizados en sistemas PECVD (deposición química de vapor asistida por plasma) para la fabricaciones de paneles de células fotoeléctricas
  • Gases dopantes utilizados en la deposición de CD, unidades de disco y dispositivos ópticos, así como gases utilizados en procesos CVD (deposición química de vapor) para la fabricación de fibra óptica
  • Gases de proceso para la fabricación de los cristales frontales utilizados en fotocélulas en un placas solares.

Características y ventajas

  • Incremento de la producción y la eficiencia en el proceso de deposición de películas finas
  • Protección del equipo de proceso, como por ejemplo de las bombas de vacío del equipo para el manejo de gases de proceso PECVD
  • Eliminación de partículas - eliminación de partículas tóxicas y abrasivas de gases de escape
  • Alta eficiencia en la filtración de gases - filtración de alta eficiencia de gases a granel, especiales y en las instalaciones, como por ejemplo N2, H2, Ar, F2, NF3, He y silano
  • Filtros de seguridad - filtros para punto de uso para la eliminación última de partículas
  • Limpieza máxima - lavado con agua desionizada y nitrógeno N2 a alta presión para maximizar la limpieza
  • Entorno de aplicación y servicio - los filtros están disponibles en especificaciones menos estrictas de superficie de hardware o en grados más altos de filtro, dependiendo de la aplicación y del entorno de servicio.

Haga clic aquí para visualizar nuestra literatura sobre la microelectrónica en chino.

 

Porvair GasPro Microelectronics
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