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Mikroelektronik

World Class Filtration Solutions

Herstellung von Sonnenkollektoren

Die hochreinen GasPro™-Filter der Porvair Filtration Group werden für kritische Gasverteilungs- und Gasfördersysteme ausgewählt, die Teil des Dünnschichtabscheidungsprozesses zur Herstellung von Photovoltaikbauteilen sind. Unsere GasPro™-Filter für die Solarkollektorenbranche werden als PTFE-Membran (Teflon™), Polypropylen, 316L Sinterflo® F Sintermetallfaser, 316L Sinterflo® P Sintermetallpulver, Nickelfaser, Sinternickelpulver und Hastelloy® C22 Sinterpulver angeboten.

Anwendungen

  • Für Prozessgase, die in Anlagen für plasmaverstärkte chemische Dampfabscheidung (PECVD) zur Herstellung von Solarkollektoren eingesetzt werden
  • Dotierungsgase für die Abscheidung auf CDs, Diskettenlaufwerken und optischen Geräten sowie Gase für die modifizierte chemische Dampfabscheidung (CVD) bei der Herstellung von Glasfasern
  • Prozessgase für die Herstellung von Frontscheiben für Photozellen und Solarkollektoren.

Eigenschaften und Nutzen

  • Erhöhter Ertrag und verbesserte Effizienz bei der Dünnfilmabscheidung
  • Schutz der Prozessgeräte wie zum Beispiel der Vakuumpumpen bei der PECVD-Prozessgasförderung
  • Beseitigung von Partikeln - Beseitigung von toxischen und abrasiven Partikeln aus Abgasen
  • Hochwirksame Filtration von Gasen - Hochwirksame Filtration von großen Mengen an Gas, Spezialgas und vor Ort erzeugtem Gas wie zum Beispiel N2, H2, Ar, F2, NF3, He und Silan
  • Polizeifilter - POU-Filter für die Beseitigung von Partikel durch Polizeifilter
  • Maximale Reinheit - Hochdruckreinigung mit deionisiertem Wasser und Hochdruckspülung mit N2 zur Maximierung der Reinheit direkt aus der Verpackung
  • Anwendungs- und Betriebsumgebung - Die Filter sind mit weniger strikten Spezifikationen für benetzte Hardwareoberflächen und mit höheren Filterklassen je nach Anwendung und Betriebsumgebung erhältlich.

Klicken Sie hier, um unsere chinesische Mikroelektronik-Literatur anzuzeigen.

Porvair GasPro Microelectronics
Porvair GasPro Microelectronics
Porvair LiquiPro Microelectronics

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