Microélectronique

World Class Filtration Solutions

Microélectronique

Porvair Filtration Group fabrique une large gamme de supports poreux de haute pureté pour des fabricants OEM et des produits de filtration fiables et à haut rendement. Ceux-ci garantissent une propreté extrême dans les applications critiques de manipulation et de distribution de gaz pour les semi-conducteurs et la microélectronique.

Cela inclut :

  • La gestion de la sécurité des gaz
  • Les systèmes d'échappement
  • Le contrôle de flux
  • Le contrôle du débit massique
  • Le remplacement de la soupape à aiguille
  • La diffusion de flux laminaire
  • L'abaissement de pression
  • L'arrêt de flamme.

Nous proposons des solutions d'ingénierie sur mesure pour les applications les plus exigeantes, en utilisant nos membranes en PTFE poreux (Teflon™), les fibres de métal frittées Sinterflo® F et la poudre de métal fritté Sinterflo® P.

Matériaux de construction

Nos médias poreux offrent une ample gamme de tailles de pores et de propriétés des matériaux. Ces filtres haute efficacité sont fabriqués en :

  • Membrane PTFE (Teflon™)
  • Sinterflo® F Fibres de métal fritté en acier inoxydable 316L
  • Sinterflo® P Poudre de métal fritté en acier inoxydable 316L
  • Fibres et poudre de nickel fritté
  • Poudre d'Hastelloy® C22 fritté.

Apte pour les environnements difficiles

Nos médias filtrants GasPro™ offrent un haut niveau de résistance mécanique, une résistance élevée à la corrosion et une résistance thermique élevée dans les environnements difficiles.

Résistance mécanique

Le média filtrant et les structures de support sont conçus pour résister les plus hautes pressions différentielles. La résistance mécanique des boîtiers de filtres en acier inoxydable 316L garantit un service fiable pendant plus de 100 000 cycles dans des conditions opérationnelles de haute pression (258 bars (3750 psig) à 20°C (68°F)).

Résistance thermique

Les structures en acier inoxydable 316L ou en nickel peuvent fonctionner dans des conditions opérationnelles de température allant jusqu'à 500°C (930°F). La construction en acier Hastelloy® C22 est homologuée pour 700°C (1290°F) pour les applications de réduction de gaz ou de gaz inertes. Avec des médias filtrants en PTFE, les filtres sont homologués jusqu'à 120°C (250°F).

Résistance à la corrosion

Notre matériel de filtre GasPro™ comporte une surface électro-polie supérieure à 10Ra pour prévenir la corrosion et la formation de particules et offrir des années de service fiable. Avec sa construction robuste et son excellente résistance à la corrosion, il est idéal pour les applications de traitement des gaz, pour les procédés de gravure et de revêtement CVD. 

Cliquez ici pour voir notre littérature en chinois sur la microélectronique.

 

Porvair GasPro Microelectronics
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Porvair LiquiPro Microelectronics

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