Erstklassige Filterlösungen

Mikroelektronik

World Class Filtration Solutions

Mikroelektronik

Die Porvair Filtration Group ist Hersteller einer breiten Palette an porösen Medien mit hoher Reinheit für OEMs und sicheren, leistungsstarken Filtrationsprodukten. Diese Produkte gewährleisten extreme Reinheit in kritischen Anwendungen zur Verarbeitung und zum Transport von Gas in Zusammenhang mit Halbleitern und Mikroelektronik.

Hierzu zählen:

  • Gassicherheitsmanagement
  • Abgasentlüftungsanlagen
  • Durchflussüberwachung
  • Massendurchflussüberwachung
  • Nadelventilersatz
  • Laminarflussdiffundierung
  • Druckdämpfer
  • Flammensperre.

Mit unserer porösen PTFE-Membran (Teflon), der Sinterflo® F Sintermetallfaser und den Sinterflo® P Sintermetallpulvermedien können wir für die kompliziertesten Anwendungen kundenspezifische Lösungen anbieten.

Konstruktionsmaterialien

Unser großes Sortiment an porösen Medien umfasst eine Vielzahl von Porengrößen und Materialeigenschaften. Diese Hochleistungsfilter gibt es in den folgenden Materialien:

  • PTFE-Membran (Teflon™)
  • 316L Edelstahl Sinterflo® F Sintermetallfaser
  • 316L Edelstahl Sinterflo® P Sintermetallpulver
  • Nickelfaser und Sinterpulver
  • Hastelloy® C22 Sinterpulver.

Betrieb bei kritischen umgebungsbedingungen

Unsere GasPro™-Filtermedien bieten hervorragende mechanische Festigkeit, verbesserte Korrosionsbeständigkeit und Betrieb bei erhöhten Temperaturen in kritischen Umgebungen.

Mechanische festigkeit

Die Filtermedien und Stützstrukturen sind so ausgelegt, dass sie höchsten Druckunterschieden standhalten. Die mechanische Festigkeit der Filtergehäuse aus Edelstahl 316L bieten Betriebssicherheit für mehr als 100.000 Zyklen unter Hochdruck (258bar bei 20°C).

Temperaturbeständigkeit

Konstruktionen aus Edelstahl 316L oder Nickel ermöglichen einen Betrieb bei erhöhten Temperaturen von bis zu 500°C. Hastelloy® C22 Konstruktionen sind bei Reduktions- oder Edelgasanwendungen für 700°C ausgelegt. Mit PTFE-Filtermedien sind die Filter für bis zu 120°C ausgelegt.

Korrosionsbeständigkeit

Unsere GasPro™-Filterhardware zeichnet sich durch eine elektrisch polierte Oberfläche von über 10Ra aus, verhindert somit Korrosion und Partikelbildung und garantiert viele betriebssichere Jahre. Die robuste Konstruktion und hervorragende Korrosionsbeständigkeit ermöglichen den Betrieb mit einer Vielzahl von Ätz- und CVD-Prozessgasen. 

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