Fabricación de Pantallas de LED

Los filtros GasPro™ de Porvair Filtration Group permiten la eliminación eficiente de partículas submicrónicas derivadas del manejo de los gases de proceso utilizados en la fabricación de LED de alta luminosidad (HBLED) para aplicaciones de iluminación, de pantalla y electrónicas. Los procesos de fabricación de película fina, substratos y dispositivos requieren filtros mecánicamente robustos con alta resistencia ante la corrosión y a las temperaturas elevadas, baja caída de presión y capacidad de carga de alta suciedad para incrementar la eficiencia general del proceso y la iluminación del LED.

Limpiamos y secamos los filtros minuciosamente con una concentración baja de partes por billón para minimizar cualquier interacción potencial con los gases de proceso.

Los filtros GasPro™ están disponibles en membrana de PTFE, acero inoxidable 316L Sinterflo^®, níquel, y polvo de metal Hastelloy C22 Sinterflo^® P con el objetivo de ofrecer materiales de alta resistencia ante la corrosión para el manejo de gases de proceso como el amoniaco, CH₄, hidrógeno CF₄, N₂O, NF₃, oxígeno y silano, y gases inertes como el argón, el helio y el nitrógeno.

Características y ventajas

• Filtros de flujo alto - para la eliminación eficaz de partículas en la distribución de gases de gran volumen, gases generados en el sitio, de especialidad y de proceso
• Protección de gabinete de gas - los filtros extienden la vida del servicio de los controlados de flujo másico, reguladores y válvulas
• Protección de equipo de proceso - protección de equipo de proceso, como por ejemplo, protección de las bombas de vacío en el crecimiento de cristales, en reactores EPI y en otros equipos para el manejo de gas de procesos de deposición química metalorgánica de vapor (MOCVC)
• Eliminación de partículas - extracción de partículas tóxicas y abrasivas de gases de escape
• Extracción de partículas de seguridad - filtros para punto de uso para la eliminación última de partículas
• Soluciones económicas - los filtros están disponibles con unas especificaciones de superficie de hardware en húmedo menos estrictas que permiten un ahorro adicional, dependiendo del entorno del servicio y de la aplicación.

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