Fabrication d'Écrans LED

Les filtres GasPro™ de Porvair Filtration Group assurent une élimination efficace des particules submicroniques lors traitement des gaz de procédé utilisés pour la fabrication de diodes électroluminescentes à haute luminosité (HBLED) pour l'éclairage, l'affichage et les applications électroniques. Les procédés de fabrication de films minces, de substrats et de dispositifs requièrent des filtres mécaniquement robustes, avec une résistance supérieure à la corrosion, résistants aux températures élevées, avec une faible baisse de pression et une capacité de rétention des saletés élevée pour augmenter l'efficacité globale du processus et la luminosité des LED.

Les filtres sont nettoyés et séchés en profondeur à des niveaux très bas de parties par milliard (ppb) pour minimiser les interactions potentielles avec les gaz de procédé.

Les filtres GasPro™ sont disponibles en membrane PTFE, en acier inoxydable Sinterflo^® 316L, en nickel et en poudre métallique Hastelloy^® C22 Sinterflo^® P, des matériaux qui offrent une résistance supérieure à la corrosion pour la manipulation de gaz réactifs comme l'ammoniac, le CH₄, l'hydrogène CF₄, le N₂O, le NF₃, l'oxygène, le silane et les gaz inertes comme l'argon, l'hélium et l'azote.

Caractéristiques et avantages

• Des filtres à haut débit - pour une meilleure élimination des particules lors de la distribution de gaz en vrac, des gaz générés sur le site, de gaz spéciaux et de gaz de procédé
• Protection de l'armoire à gaz - les filtres prolongent la durée de vie des régulateurs de débit massique, des régulateurs et des vannes
• Protection des équipements de procédé - protection des équipements de procédés comme les pompes à vide lors de la croissance de cristaux, dans les réacteurs EPI et dans d'autres équipements de traitement des gaz de procédé en phase vapeur organique (MOCVD)
• Enlèvement des particules - élimination des particules toxiques et abrasives des gaz d'échappement
• Dernière chance d'enlèvement des particules - filtres POU pour la dernière chance de suppression des particules
• Des solutions rentables - des filtres plus économiques avec des spécifications de surface mouillées moins rigoureuses sont disponibles pour d'autres applications et environnements opérationnels.

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